一、概述
真空熱處理技術具有無氧化、無脫碳、脫氣、脫脂、表面質量好、變形微小、綜合力學性能優異、無污染、無公害及自動化程度高等一系列突出優點，50余年來始終是國際熱處理技術發展的熱點，近20余年來在我國也得到迅速發展。我國真空熱處理工藝的研究和應用已遍及真空退火、真空油(氣)淬火、真空高壓氣體淬火、真空滲碳、真空滲氮、真空回火、真空燒結、真空釘焊、真空滲金屬、真空離子滲碳(滲氟、滲金屬)、真空涂敷及真空清洗等廣闊領域，取得了長足的進展。據資料介紹和統汁估算，我國現有各類真空熱處理設備約4500臺套，占我國熱處理設備的3.75％左右。我國現有專業性真空熱處理設備生產廠家約50余家，主要產品有真空油（氣）淬火爐、真空高壓氣淬爐、真空回火爐、真空釬焊爐、真空燒結爐、真空滲碳爐、真空滲氮爐、氮爐、離子滲碳(氮)爐和真空連續爐等真空熱處理設備。全國從事真空熱處理技術研究、設計、制造、開發和應用的職工總數約為6000人。現在，真空熱處理技術已經進入技術領域不斷擴大，工藝水平逐漸提高，真空熱處理設備不斷完善和日益多樣化、智能化，新技術接連涌現的穩定發展階段。
二、真空熱處理工藝
20世紀70年代真空熱處理技術在我國發展初期，人們主要研究探討真空熱處理的基本性質、加熱特點、金屬蒸發問題和金屬在真空下加熱的基本規律以及變形問題，同時開展了典型熱處理工藝的研究，進行了真空油淬火和真空氣淬的工藝研究和應用。為真空熱處理工藝的研究和應用奠定了基礎。80年代以來，真空熱處理技術在我國迅速發展，引進先進設備增多，真空熱處理工藝應用日廣。許多單位著手真空油、氣淬火技術的開發應用，開發了負壓高流率淬火技術，以及在引進設備上開發高壓氣淬工藝的應用實踐，真空滲碳技術、真空燒結、真空釬焊、真空離子滲碳(氮、金屬)的研究和應用相繼展開，真空熱處理技術開始從研究試驗和少量生產走向工業生產領域。隨著技術的進步，進入90年代以來，真空熱處理工藝技術出現了許多新技術、新特點，高壓氣淬和超高壓氣淬的應用，真空加熱的熱風(氣流)循環和快速冷卻技術，真空(脈沖)滲氮技術，真空低壓滲碳高壓氣淬技術，真空清洗技術、真空表面涂敷技術和真空噴涂技術，真空熱處理工藝與設備智能控制系統，燃氣式真空爐及智能系統，真空等溫熱處理技術及智能系統，真空離子滲碳(氮、金屬、多元共滲等)技術蓬勃開展。在美國、德國、英國、法國和日本等國成為新技術發展的熱點。我國在上述領域跟蹤國際先進技術，結合國情，積極研究、開發我國的真空熱處理新技術、新設備。如高壓氣淬工藝與設備，真空回火熱風循環與快冷處理，連續爐真空熱處理和真空滲碳工藝等；同時在真空清洗技術、真空滲氮工藝與設備、真空熱處理工藝與設備的智能化控制系統以及高溫離子熱處理技術等領域也在進行研究探索和工業開發的應用試驗；并且將研發新技術設備應用于生產。真空熱處理工藝的發展方興未艾，前景美好。
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